Nanopositionierung Vom millionstel Millimeter bis zur Gravitationswelle aus dem All Das Messen und Positionieren im Nanometer- und Subnanometerbereich erobert immer mehr Anwendungen außerhalb der Halbleiterfertigung. Welche Rolle Forschungsinstitute und Hersteller in Deutschland dabei spielen. Torsten Kirchmann 4. November 2026